描述：大型自動(dòng)金相測(cè)量?jī)x
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特點(diǎn)：適用于半導(dǎo)體、汽車電子、新能源、LCD、殼體邊框、FPC、連接器等行業(yè)，可對(duì)產(chǎn)品高倍率、高精度進(jìn)行批量檢測(cè)，穩(wěn)定性強(qiáng)，測(cè)量行程更大。
傳動(dòng)形式：X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌/研磨級(jí)滾珠螺
金屬貼片尺分辨率：X/Y/Z軸0.0002mm
測(cè)量精度：視野內(nèi)測(cè)量精度：1μm
移動(dòng)測(cè)量精度：≤3μm+L/200
重復(fù)精度：≤3μm X/Y/Z軸臺(tái)達(dá)閉環(huán)高性能伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)
鏡頭：消色差物鏡組5X/10X/20X/50X（可選DIC微分干涉/進(jìn)口主鏡體）
光源系統(tǒng)：金相同軸光系統(tǒng)/LED冷光源投射背光源
X/Y行程（mm)：800*1000/1000*1200/1200*2000…（均可定制)
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